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Sputtering target
Details
The specification parameters are as follows:
| Specification | Particle size （μm） |
Active aluminum (%) |
Tap density （g/cm³） |
Moisture （%） |
| FLQT0 | 43±7 | ≥98 | ≥1.6 | ≤0.1% |
| FLQT1 | 29±3 | ≥98 | ≥1.6 | ≤0.1% |
| FLQT2 | 24±3 | ≥98 | ≥1.6 | ≤0.1% |
| FLQT3 | 13±2 | ≥98 | ≥1.5 | ≤0.1% |
| FLQT4 | 6±1.5 | ≥98 | ≥1.4 | ≤0.1% |
| FLQT5 | 2±1 | ≥97 | ≥1.4 | ≤0.1% |
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